*一、项目基本情况
项目编号：OITC-G250611344
项目名称：zycgr24041501超高真空原子层沉积采购项目
预算金额：610.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：610.000000 万元（人民币）
采购需求：
- 采购项目的名称、数量：
包号
货物名称
数量
简要技术规格
是否允许采购进口产品
最高限价
1
超高真空原子层沉积
1套
面向二维材料器件先进制程需求，超高真空原子层沉积系统可以实现多类氮化物、单质金属、半导体材料的高纯度、高可控性生长，实现<10纳米器件的金属化工艺。配备了热沉积与等离子体增强沉积两种模式，采用底部加热盘和环绕辐射双加热模式，沉积温度高达500℃。采用超高真空腔体设计，保证了腔体的洁净度，极大限度降低工艺过程中的杂质沾污，大幅提高TiN、AlN、BN等氮化物以及单质金属膜层的沉积效果。同时该系统可与超高真空传输腔对接，实现样品的全自动传输。
否
610万元
注：
1）投标人须对上述投标内容中完整的一包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。
2）该项目合同价格为固定总价合同，招标文件包含的工作内容，结算时不予调整。
合同履行期限：合同签订后180个工作日。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人；3） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；4） 投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；5） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。6） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；7） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8） 本项目不接受联合体投标。
三、**
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