*一、项目基本情况

项目编号：SEU-ZB-260002

项目名称：东南大学物理学院紫外无掩膜光刻机采购

预算金额：35.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：33.500000 万元（人民币）

采购需求：

交付地点：东南大学九龙湖校区，设备的搬运、安装调试等不另行付费。

项目概况：物理学院采购紫外无掩膜光刻机1套，主要技术参数：

（一）光刻和对焦技术：

（1）光刻技术：基于数字微透镜（DMD）的无掩模光刻技术，DMD显示分辨率至少 1920x1080

（2）自动聚焦技术：支持压电主动自动对焦，对焦速度≤1秒

（二）精度：

（1）最小线宽：小于或等于 0.8μm, 可升级到 0.5 μm

（2）光刻镜头：20x镜头, 可升级选配2.5x, 5x, 10x, 50x物镜

（3）最小间距：1.6um

合同履行期限：境外产品：开具信用证后90天内设备安装调试合格。境内产品：合同签订后90天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：如果所投产品是进口产品需提供设备制造商或其驻中国办事机构或其在中国销售总代理的针对本项目的销售代理授权委托书。

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com