*一、项目基本情况

项目编号：0664-2540SUMEC8824D（SEU-ZB-250986）

项目名称：东南大学集成电路学院高低温真空探针台

预算金额：96.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：96.000000 万元（人民币）

采购需求：

集成电路学院采购高低温真空探针台1套，主要配置及技术参数如下：

1.样品台

1.1尺寸：不小于6英寸。能固定整片与局部晶圆。

1.2 材质：无氧铜。

1.3样品台平整度：≤20μm

2.真空位移台

2.1样品台移动控制方式：手动及半自动系统。

2.2行程：XY：至少150mm（电动），Z：至少10mm（电动），Q：至少±5°（电动）

2.3定位精度：XYZ：≤3μm（电动），旋转轴Q：≤±0.001°（电动）

3.真空系统

3.1极限真空度： 10^-5Torr

3.2 真空控制精度≤±10% 

本项目不接受进口产品。

本项目所属行业：工业。

本项目(非专门)面向中小企业（监狱企业、残疾人福利性单位）采购。

合同履行期限：合同签订后90天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：无4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com