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沈阳工业大学智能检测与智能运维管理实验中心设备采购项目（14）招标公告

发布时间： 2025-10-16 项目区域：辽宁省沈阳市

公告信息

沈阳工业大学智能检测与智能运维管理实验中心设备采购项目（14）招标公告

撰写单位:

辽宁工程招标有限公司

发布时间:

2025-10-16

*一、项目基本情况

项目编号：JH25-210000-54793

项目名称：沈阳工业大学智能检测与智能运维管理实验中心设备采购项目（14）

包组编号：001

预算金额（元）：680000

最高限价（元）：680000

采购需求：查看

一、主体指标★1.1真空腔室：尺寸：Ф≥500mm×≥H420mm ，前开门结构，顶板焊水线，内表面应用电抛等清洁处理，焊缝应采用氩弧焊接且内表面抛光。1.2真空系统组成：复合分子泵 + 直联高速旋片式真空泵 + 高真空阀门 + 数显复合真空计。▲1.3其中分子泵，抽速≥1200 L/s；直联高速旋片式真空泵为抽速≥ 9L/s。1.4真空极限：设备空载抽真空 24 小时后，可达 6.0×10？？Pa。★1.5升压率：≤0.8Pa/h（12 小时平均值）；停泵 12 小时后，设备真空度≤10Pa。▲1.6抽速：从大气抽至 5.0×10？3Pa，设备空载时≤15min；设备空载且在干燥氮气环境下≤10min。二、基片台相关指标★2.1尺寸与样品规格：基片台尺寸 Φ150mm，最大样品尺寸≤ Φ150mm，配有基片台挡板。★2.2旋转功能：旋转转速 0～20 转/分钟（或转速包含该范围），可调可控，主轴采用磁流体密封。绝缘与偏压：基片台与腔室绝缘设计，可接脉冲偏压电源。加热功能：基片台环境温度可从室温升至 500±1℃，采用 PID 智能温控闭环控温，可控可调，且采用铠装加热器及绝缘、屏蔽等设计。三、溅射靶及电源相关指标★3.1溅射靶配置：3 套 3 英寸磁控溅射靶，向上溅射，可溅射磁性材料，各靶配有气动挡板结构。▲3.2工作方式：各靶可独立、顺次、共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜。电源参数：★3.2直流脉冲溅射电源：1kW，数字化控制及显示，共 2 台。★3.4科射频电源：600W，数字化控制及显示，共 1 台。3.5脉冲偏压电源：-1kV，数字化控制及显示，共 1 台。★3.6高速脉冲 I-V 测试电压范围≥80Vp-p。★3.7高速脉冲 I-V 测试电流量程至少包含 800mA、200mA、10mA、1mA、100μA、10μA、1μA四、气路系统相关指标▲4.1质量流量控制器及量程：Ar 为 ≥100sccm；N？为 ≥50sccm；O？为 ≥20sccm。气路组件：含 Φ6mm 电磁截止阀、三进一出混气管，采用 EP 管道（内外抛光金属管）。五、其他关键指标5.1膜厚不均匀性：≤±5%（单靶镀膜，基片台 Φ120mm 范围内）。5.2自动恒压系统：由薄膜规 + 调节阀 + 辅助系统 + 控制系统组成。▲5.3控制方式：PLC + 触摸屏控制，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源手动控制。报警及保护：具备缺水报警及相应保护措施，有完善的逻辑程序互锁保护系统。设备尺寸：长 × 宽 × 高为 ≥1800mm×≥1020mm×≥1920mm。★5.4支持收集平台中所有终端硬件配置信息，包括终端名称、设备内存容量、最近运行时间、合计运行时间、硬件变更和记录信息等，便于实验室设备管理（提供此功能界面截图证明）。★5.5仪器设备综合管理平台具备全生命周期管理功能、运行数据分析、设备远程界面、设备状态分析、接口管理等功能（提供此功能界面截图证明）。

合同履行期限：合同签订后的60日内将所投产品运抵交货地点并安装调试完毕。

需落实的政府采购政策内容：中小企业；监狱企业；残疾人福利性单位；节能产品、环境标志产品；列入《创新产品和服务目录》内的产品、服务等政府采购相关政策。

本项目（是/否）接受联合体投标：否

二、供应商的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目专门面向中小微企业采购，供应商所投产品厂商须为中型或小型或微型企业，残疾人福利性单位、监狱企业视同小型和微型企业；

3.本项目的特定资格要求：无

三、政府采购供应商入库须知

参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。

四、**
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联系人：张晟
手机：13621182864
邮箱：zhangsheng@zgdlyzc.com

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