序号

设备名称

主要组件

主要配置参数

采购量

1

高真空涡轮分子泵

高真空涡轮分子泵一

分子泵进气口径不小于DN100 ISO-K，极限真空度优于1.0E-8mbar，抽速不小于： 氦气：≥250L/s、氮气：≥260L/S；氮气压缩比：＞ 1 * 1011，最大前级耐压，氮气：≥10mbar，分子泵需配备电源控制器，电源控制器需要满足匹配两路真空规读取和控制功能，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；满配整体尺寸：直径不大于240mm，高度不大于210 mm；转速≥60000rpm，安装方向：任意角度。磁悬浮转子。RS485通讯线缆。配置风冷单元，中心滤网，配套中心支架及中心圈（氟橡胶）。冷却方式：风冷或水冷。极限压强时功耗≤25w。

3台

高真空涡轮分子泵二

分子泵进气口径不小于DN100 CF，极限真空度优于1.0E-9mbar，抽速不小于： 氦气：≥250L/s、氮气：≥260L/S；氮气压缩比：＞ 1 * 1011，最大前级耐压，氮气：≥10mbar，分子泵需配备电源控制器，电源控制器需要满足匹配两路真空规读取和控制功能，，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；满配整体尺寸：直径不大于240mm，高度不大于210 mm；转速≥60000rpm，安装方向：任意角度。磁悬浮转子。RS485通讯线缆。配置风冷单元，中心滤网。冷却方式：风冷或水冷。极限压强时功耗≤25w。

3台

高真空涡轮分子泵三

分子泵进气口径不小于DN63 ISO-K，极限真空度优于1.0E-8mbar；抽速：不小于67L/s@氮气；

分子泵需配备电源控制器，电源控制器需要满足匹配两路真空规读取和控制功能，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；配置风冷单元，中心滤网，配套中心支架及中心圈（氟橡胶）

安装尺寸：应满足或小于Ф140×h150mm；

安装方向：任意角度。

1台

高真空涡轮分子泵四

分子泵进气口径不小于DN160ISO-K，极限真空度优于1.0E-8mbar；磁悬浮转子。配置风冷单元，中心滤网，配套中心支架及中心圈（氟橡胶）,配进气电磁阀。

最大抽速：氮气：≥660 L/s；氢气：≥550L/s：氦气：≥655L/s；氩气：≥665L/s；氮气压缩比＞ 1 * 10E13

分子泵需配备电源控制器，电源控制器需要满足匹配两路真空规读取和控制功能，，运行方式可独立操作本地、远程启停等模式；配置风冷单元；

安装尺寸：应满足或小于Ф300×h 220 mm；

安装方向：任意角度。

1台

2

离子泵

离子泵一

a.类型：三级泵

b 抽速（L/s）：34 @氮气；68 @ 氦气

c. 使用寿命（1.0E-6 mbar）：80,000 hours

d. 最大启动压力（mbar）：≤5x10E-2

e.极限压力：＜10-11 mbar

f. 进口法兰：2 3/4”CFF (CF 35)

g. 最高烘烤温度（℃）：350

f. 可远程控制

h.防溅射挡板

i. 带烘烤单元

1台

离子泵二

a.类型：三级泵

b.抽速（L/s）：65 @氮气；130 @ 氦气

c.使用寿命（1.0E-6 mbar）：80,000 hours

d.最大启动压力（mbar）：≤5x10-2

e.极限压强：＜ 10-11mbar

f. 进口法兰：6”CFF (CF 100)

g. 最高烘烤温度（℃）：350

f. 可远程控制

h.防溅射挡板

i. 带烘烤单元

1台

离子泵控制器

a输入电压：100-240 Vac （+/-10%）

b输入功率：150VA

c输入直流电压:24Vdc(±10%)

d输入直流功率：70W

e输出高压电压：+/- 7000Vdc +/-5%

f输出最大高压功率：40W

g操作温度：0℃ 至45℃

h贮存温度：-40℃至 +70℃

i 高压线长度：>3m

2台

3

真空变送器

真空变送器一

第一种真空变送器：

连接法兰DN16（KF16），MEMS皮拉尼规，测量范围：大气~1E-4mbar；

测量重复性：优于2%;

操作温度：0 ℃~50 ℃;

测量范围：10~1E-3mbar范围内。

配套信号连接线缆不小于3m

兼顾第一项分子泵控制器读取控制

6套

真空变送器二

第二种真空变送器：

连接法兰DN40（CF35），冷阴极电离与MEMS-皮拉尼的全量程复合规管；

可重复性：优于±5%

操作温度：0 ℃~50 ℃

测量范围：100~1E-8mbar范围内。

配套信号连接线缆不小于3m

兼顾第一项分子泵控制器读取控制

6套

真空变送器三

第三种真空变送器（热规）：

a.测量范围： 2.0E-11至1.0E-3 mbar

b.灵敏度：25 Torr-1

c.测量精度：+20%

d.烘烤温度：450℃

e.温度极限：操作温度0 ℃~250 ℃；贮存温度-15 ~80℃

f.接口尺寸：2 ?0?6”CFF (NW 35)

配套信号连接线缆不小于3m

6套

真空变送器四

连接法兰DN16（KF16），MEMS皮拉尼规，测量范围：大气~1E-4mbar；

操作温度：0 ℃~50 ℃;

响应时间：<0.2s。

与真空控制器2匹配

配套信号连接线缆不小于3m

2套

4

真空变送器控制器

真空变送器控制器及连接线缆1

可用于控制和显示不少于6个真空计，测量范围：2000~1E-11mbar；

可编程输出，显示单位mbar，Torr，Pa等单位可选。

4套

真空变送器控制器及连接线缆2

可用于控制和显示不少于4（两路高真空规，两路低真空规）个真空计，测量范围：2000~1E-11mbar；

可编程输出，显示单位mbar，Torr，Pa等单位可选。

安装尺寸：不大于90*205*370mm

3套

5

前级泵

涡旋干泵

抽速：不小于15m ?0?6/h；真空压强为：0.01mbar；真空泵水蒸气处理量为：240G/h；真空泵噪音等级小于54DB；真空泵入口连接：DN25ISO-KF

3套

旋片机械泵1

抽速不小于10 m ?0?6 /h，关气镇极限分压强：优于5E-4mbar；

电机参数：220V/50Hz。真空泵入口连接：DN25ISO-KF

2套

旋片机械泵2

抽速不小于18 m ?0?6/h，关气镇极限分压强：优于5E-4mbar；

电机参数：220V/50Hz。真空泵入口连接：DN25ISO-KF

4套

旋片机械泵3

抽速：不小于80 m ?0?6/h，关气镇极限分压强：优于2E-3mbar；

电机参数：380V/50Hz。带有可移动装置。真空泵入口连接：DN40ISO-KF

2套

6

超高真空气动插板阀

超高真空气动插板阀1

连接法兰：DN40 CF-F；

阀体漏率：优于5.0E-10mbar·L/s；

运行压力范围：1.0E-10mbar~2bar。

法兰面间距： 35mm

运动模式：单动

状态：常闭

3套

超高真空气动插板阀2

连接法兰：CF100

执行器：气动 ，双作用，带电磁阀，带位置指示器

阀体泄漏率：5×10-10mbar·L/s

压力运行范围：1×10-10 mbar至1.6 bar

内部阀轴密封方式:不锈钢波纹管密封，阀体与外部密封采用不锈钢垫圈密封。

阀体内部采用无油脂润滑。

阀板密封材料与阀板固化一体。

1件

7

真空隔膜阀

真空隔膜阀

连接法兰：DN25；

漏率：优于1.0E-6mbar·L/s。

2套

8

真空挡板阀

真空挡板阀1

连接法兰：DN40；

阀体漏率：优于1.0E-7mbar·L/s。

电磁阀供电：220v

4套

真空挡板阀2

连接法兰：DN25；

阀体漏率：优于1.0E-7mbar·L/s。

电磁阀供电：220v

10套

9

真空辅助组件控制模块

真空辅助组件控制模块

通过该控制模块核相应的控制系统软件实现对分子泵，离子泵，阀门，真空计等元件的控制和实时监测，手动/自动运行可选，可实现数据记录、数据输出、数据曲线绘制等，保证系统的可靠性和稳定性。

2套

10

真空配件

密封件

配套无氧铜垫圈 CF100

100个

变径

316L，KF40-KF60直通+宝塔接头

6套

三通

KF40-KF25

15个

KF16-KF25

15个

防返油过滤器

油泵与真空腔体间用

规格对应油泵接口

20个

排气口过滤器

规格对应油泵出气口

20个

真空钢丝软管

KF25

20米

真空塑筋管

KF60

20米

不锈钢波纹管

KF25

20米

气体减压阀

管路：φ6mm快插接口

入口压力：0-250bar

出口压力：0-2.5bar

5件